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デバイス・モジュール製造設備
ダイ ボンディング
リードフレーム上にAuSnテープ又はAgペーストを使用しICチップを固定します。
  CPS-500SP CPS-100VX  
基板上に半田ペースト又はAgペーストを使用しICチップを固定します。
  CPS-6000 DM-60M-H  
ワイヤ ボンディング
ICチップの電極部(ボンディングパット)と基板上及びリードフレームの導体間を
金線でワイヤ接続します。
  UTC-380BI-CO SW-27U-H HW-26U-B
  UTC-200BI UTC-300 UTC-370BI
  UTC-1000S    
プラズマ照射
フラッシュメッキ部分(基板上)の異物・汚れを除去し接続強度を向上します。
  プラズマクリーナー プラズマクリーナー炉内  
一括封止用テープ貼付
一括封止工程の前準備としてリードフレーム裏面にテープを貼付け、
樹脂漏れを防止します。
  (自社開発設備) 一括封止用テープ
貼付け中
一括封止用テープ
貼付け状態
樹脂封止
ワイヤ接続後のリードフレームを一括封止します。
又は、ICチップ上に液状樹脂を塗布しICチップとワイヤを保護します。
  TAMS-UM Y-1 IPH-201(ベーク炉)
  FDS4H4028 4SYSTEM-3000  
ダイシング
UVシートに基板又はリードフレームを貼付けします。
  MSA840 真空貼付装置
(自社開発設備)
UVシート貼り付け状態
基板又はリードフレーを、ダイヤモンドブレードを使用し、個片状態に切断します。
  DFD-6360 DFD-6340 DFD-681
  ダイシング後 状態    
UV照射
UV照射を行いUVシートから製品を剥がれ易くします。
  (自社開発設備) UV照射状態  
裏面外観検査
自動検査機により製品裏面を外観検査し良否判定を行います。
  (自社開発設備) 裏面外観検査状態  
DC/RF特性選別
DC選別:個片化後の製品DC特性の良否判定を行います。
  PCP-103SL 測定治具(プローブ)  
  (自社開発設備) 分類収納部 TPG収納部
DC選別:個片化後の製品DC特性の良否判定を行います。
  FH2100-VerⅡ LT36  
  V4 H1  
  製品供給ノズル部 RF測定治具部  
  RF選別製品トレー収納部 RF測定治具  
テーピング
選別後の良品を、トレー又はテープに収納します。
  DPS-250 GAT-1 TTI-950ET-KMK
  製品吸着状態 製品吸着状態 良品供給部
外観検査
自動検査機により捺印・テープ状態を外観検査し良否判定を行います。
  (自社開発設備)    

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デバイス・モジュール設備リスト
設備名 型名 メーカー 台数 備考
ダイボンダ CPS-500SP キャノン
マシナリー
  2 L/F対応(AuSnテープ仕様)
CPS-100VX   1 L/F対応(Agペースト仕様)
DM60M-H Panasonic   2 基板対応
(半田ペースト仕様)
CPS-6000 キャノン
マシナリー
  1 基板対応(Agペースト仕様)
ワイヤボンダ UTC-200 新川   1 L/F対応
ワイヤ径:Φ20~38μm
UTC-300   2
UTC-370BI   1
UTC-380BI-CO   2 基板対応
ワイヤ径:Φ20~38μm
SW27U-H Panasonic   1
HW26U-B   1
プラズマ
クリーナ
V-1000 ヤマトマテリアル   1 アルゴンガス仕様
出力電力:1000W
一括封止用
テープ貼付機
自動B/T貼付機 自社開発   1 ポリイミド粘着テープ使用
樹脂封止機 Y-1 TOWA   1 一括封止(マニュアル機)
TAMS-UM 多加良   1 一括封止(自動機)
FDS4H4028 岩下
エンジニアリング
  1 液状樹脂封止
基板対応
SYSTEM-3000   1
EZ-ROBO   1 液状樹脂封止
基板対応(卓上機)
ベーク炉 IPH-201 ESPEC   1 Agペースト用
  2 その他
VAC-100   1 真空ベーク対応
UVシート貼付機 MSA-840 日東電工   1 セミオート機
真空貼付機 自社開発   1  
ダイサ DFD-6340 ディスコ   2 デュアルブレードタイプ
ワークサイズ:
        8インチ/300mm
切削可能範囲:210/310㎜
DFD-6360   1
DFD-681   1 シングルブレードタイプ
UV照射機 自社開発   1 自動機
裏面自動
外観検査機
自社開発   1 自動機
選別ハンドラ PCP-103SL プラムファイブ   5 プローブタイプ、
  8インチフラットリング゙仕様
ワークサイズ200㎜/150㎜
1㎜以下小チップにも
  対応可能
LT36 上野精機   3 テーピング供給
  ・収納タイプ、
  4個同時測定可能
捺印/外観検査の
  同時実施可能
H1 ヤマハ発動機   1 トレー供給・収納タイプ
最大4個 同時測定可能
V4   2
YNE サンユー技研   4 トレー供給・収納タイプ
FH2100 FAT   8 トレー供給・収納タイプ
  多分類対応(5分類)
FH2100 VerⅡ FAT   2 リング供給・テープ収納 PASS/FAIL.2分類
オーテック
メカニカル
(自社開発)
  1 バーツフィーダ供給
  /TP収納タイプ
  多分類対応(25分類)
DCテスタ TS1000 横河電機   1  
EM21 東京精密   1  
VX4000A テクノローグ   24  
RFテスタ TS900 横河電機   2  
TS1000   2  
AG84000 アジレント   5  
テーピング機
配列機
DPS-250 新川   2 リング→トレイ配列
  8インチフラットリング仕様
GAT-1 ニッケテクノ
システム
  3 リング→テーピング
  8インチフラットリング仕様
TTI-950ET-KMK 藤堂   3 トレイ→テーピング
テーピング
自動外観
検査機
自社開発   1  
レーザトリマ LS432HW オムロンレーザーフロント   1 微小チップ抵抗に対応
半自動配列機 自社開発   1 リング→リング
リング→2インチトレイ
半自動
ポッティング機
ポッティングセル500□ 自社開発   2  
自動
ディスペンス
装置
自社開発   1  
ウェハ拡張装置 HS-1810 ヒューグル
エレクトロニクス
  1 サイズ:8インチ
MAX:90㎜/1㎜レンジ
UV照射機 RAD-2000M/6 リンテック   1  
HS-6080 ヒューグル
エレクトロニクス
  2  
基板分割機 T-MD23 TST   1 回転歯式
部品圧入機 アーバープレスNo.3 ヒノデ   1  
画像
外観検査装置
ESV-303 新電子   1  
温度サイクル
装置
TSA-201S-W ESPEC   1  
ベーク炉 PS-222 ESPEC   1  
HPS-222   1  
PH-200   1  
DKN602 ヤマト   2  
リフロー炉 WL15-15-6 相模理工   1  

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